Caractérisation électrique d'un réacteur RF (13.56 MHz) de (SF6, O2) à basse de pression de texturation des plaquettes de silicium

Caractérisation électrique d'un réacteur RF (13.56 MHz) de (SF6, O2) à basse de pression de texturation des plaquettes de silicium

Alim, Mohamed Mounes
URI: http://hdl.handle.net/123456789/4324
Date: 2006

Description:

59 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)

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