Dépôt de nitrure de silicium amorphé hydrogène par pulvérisation DC magnetron

dc.contributor.author	Mokeddem, Kamel
dc.date.accessioned	2016-02-23T10:08:49Z
dc.date.available	2016-02-23T10:08:49Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/4609
dc.description	113 p. : fig. ; 29 cm.(+ microfiche, CD)	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.subject	Physique des matériaux	fr_FR
dc.subject	Silicium amorphé, hydrogène	fr_FR
dc.subject	magnetron (pulvérisation )	fr_FR
dc.title	Dépôt de nitrure de silicium amorphé hydrogène par pulvérisation DC magnetron	fr_FR
dc.type	Thesis	fr_FR