Dépot de nitrure de silicium amorphe hydrogéné par pulvérisation DC magnétron

dc.contributor.author	Mokeddem, Kamel
dc.date.accessioned	2017-11-28T09:58:28Z
dc.date.available	2017-11-28T09:58:28Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/5575
dc.description	121 p. : ill. ; 30 cm (+ CD-Rom)	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.subject	Nitrures de silicium	fr_FR
dc.subject	Silicium	fr_FR
dc.subject	Pulvérisation	fr_FR
dc.subject	Spectroscopie	fr_FR
dc.subject	Hydrogène	fr_FR
dc.title	Dépot de nitrure de silicium amorphe hydrogéné par pulvérisation DC magnétron	fr_FR
dc.type	Thesis	fr_FR