Etude et élaboration de couches minces de carbure de silicium et de membranes

dc.contributor.author	Boukezzata, Assia
dc.date.accessioned	2014-12-04T10:39:33Z
dc.date.available	2014-12-04T10:39:33Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/889
dc.description	160 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.subject	Carbures de silicium	fr_FR
dc.subject	Pulvérisation cathodique	fr_FR
dc.subject	Couche minces	fr_FR
dc.subject	Capteurs (technologie)	fr_FR
dc.title	Etude et élaboration de couches minces de carbure de silicium et de membranes	fr_FR
dc.type	Thesis	fr_FR