Résumé:
Ce travail présente une étude détaillée sur l’émission d’un plasma d’AlN induit par laser sous vide et sous ambiance d’azote et d’argon à différentes conditions expérimentales (de fluence laser et de pression de gaz) à l’aide du diagnostic par spectroscopie d’émission optique. Pour comprendre les processus physicochimiques produits durant l’expansion du plasma, des approches expérimentales et computationnelles ont été utilisées. Afin d’optimiser certains paramètres du laser et du plasma qui seront utiles pour les dépôts de coches minces par ablation laser et l’analyse de matériaux à base de nitrures d’aluminium.
