Elaboration et optimisation des nitrures sous forme de couches minces déposées par ablation laser

Abstract

Ce travail de thèse intitulé "Elaboration et optimisation des nitrures sous forme de couches minces déposées par ablation laser" a été consacré à l'élaboration et à l'étude des propriétés des couches minces de nitrures de zirconium (ZrN) et de nitrures à base de carbone (BCN, CNx). Ces couches ont été déposées par ablation laser dans une enceinte de dépôts conçue et réalisée au Centre de Développement des Technologie Avancées CDTA. L'objectif de ce travail est d'optimiser un paramètre important du dépôt, à savoir la pression d'azote, en vue d'améliorer les propriétés de ces couches, principalement, la nanodureté.