Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron

Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron

Sayhi, Mostepha
URI: http://hdl.handle.net/123456789/3924
Date: 2006

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127 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)

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