Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron

dc.contributor.author	Sayhi, Mostepha
dc.date.accessioned	2015-11-10T08:37:22Z
dc.date.available	2015-11-10T08:37:22Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/3924
dc.description	127 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.subject	Nitrure de silicium	fr_FR
dc.subject	Matériaux amorphes hydrogénés	fr_FR
dc.subject	Pulvérisation	fr_FR
dc.title	Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron	fr_FR
dc.type	Thesis	fr_FR