Etude et caractérisation d'une décharge RF (13.56 MHz) de CH4 à basse pression : application à l'optimalisation d'un réacteur plasma de dépôt de a-C:H

Etude et caractérisation d'une décharge RF (13.56 MHz) de CH4 à basse pression : application à l'optimalisation d'un réacteur plasma de dépôt de a-C:H

Djerourou, Samira
URI: http://hdl.handle.net/123456789/4554
Date: 2004

Description:

80 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)

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