Etude et caractérisation d'une décharge RF (13.56 MHz) de CH4 à basse pression : application à l'optimalisation d'un réacteur plasma de dépôt de a-C:H

dc.contributor.author	Djerourou, Samira
dc.date.accessioned	2016-02-16T09:10:18Z
dc.date.available	2016-02-16T09:10:18Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/4554
dc.description	80 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)	fr_FR
dc.language.iso	fr	fr_FR
dc.subject	décharge luminescentes	fr_FR
dc.subject	technique des plasmas	fr_FR
dc.subject	plasmas	fr_FR
dc.subject	champs magnétiques	fr_FR
dc.title	Etude et caractérisation d'une décharge RF (13.56 MHz) de CH4 à basse pression : application à l'optimalisation d'un réacteur plasma de dépôt de a-C:H	fr_FR
dc.type	Thesis	fr_FR