Etude des propriétés physiques des films d'oxyde d'étain transparents et conducteur déposés par pulvérisation cathodique réactive à l'oxygène
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Date
1994
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79 p. : fig. ; 29 cm.
Keywords
Physique, semi conducteur , couche mince,pulverisation ; Semi conducteur,physique,couche mince,pulverisation