Caractérisation électrique d'un réacteur RF (13.56 MHz) de (SF6, O2) à basse de pression de texturation des plaquettes de silicium
| dc.contributor.author | Alim, Mohamed Mounes | |
| dc.date.accessioned | 2015-12-16T11:49:29Z | |
| dc.date.available | 2015-12-16T11:49:29Z | |
| dc.date.issued | 2006 | |
| dc.description | 59 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom) | fr_FR |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/4324 | |
| dc.language.iso | fr | fr_FR |
| dc.subject | Silicium | fr_FR |
| dc.subject | Décharges électriques | fr_FR |
| dc.title | Caractérisation électrique d'un réacteur RF (13.56 MHz) de (SF6, O2) à basse de pression de texturation des plaquettes de silicium | fr_FR |
| dc.type | Thesis | fr_FR |
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