Etude des nitrures HfNx et VNx synthétisés par pulvérisation DC magnétron influence de la stoechiométrie sur la structure et les proprétés électriques et optiques
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Date
2008
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Abstract
Description
147 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Nitrures des métaux de transition, Pulvérisation, Magnétrons, Stoechiométrie, Matériaux : Propriétés électriques, Matériaux : Propriétés optiques