Etude de l'interaction entre l'oxygène moléculaire et la surface du silicium amorphé hydrogéne et du silicium polycristallin (L.P.C.U.D.) en couches mince
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Date
1996
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Abstract
Description
172 p. : ill. ; 30 cm.(+ microfiche).
Keywords
Physique appliquée, microélectronique, Microélectro