Etude de l'interaction entre l'oxygène moléculaire et la surface du silicium amorphé hydrogéne et du silicium polycristallin (L.P.C.U.D.) en couches mince

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dc.contributor.authorAoucher, Moussa
dc.date.accessioned2016-03-17T09:13:19Z
dc.date.available2016-03-17T09:13:19Z
dc.date.issued1996
dc.description172 p. : ill. ; 30 cm.(+ microfiche).fr_FR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/4717
dc.language.isofrfr_FR
dc.subjectPhysique appliquée, microélectroniquefr_FR
dc.subjectMicroélectrofr_FR
dc.titleEtude de l'interaction entre l'oxygène moléculaire et la surface du silicium amorphé hydrogéne et du silicium polycristallin (L.P.C.U.D.) en couches mincefr_FR
dc.typeThesisfr_FR

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