Caractérisation par spectroscopie d'émission d'un plasma de carbone crée par laser Xcimer KrF
Date
2004
Authors
Messaoud Aberkane, Sabrina
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Description
72 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
ablation laser (fabrication ), plasmas produits par laser, carbone, spectroscopie, couches minces