Caractérisation d'un plasma de carbone sous ambiance réactive de CH4
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Date
2012
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Abstract
Description
93 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Dépôt par laser pulsé, Spectroscopie d'émission, Interactions laser-plasma, Couches minces, Lasers de puissance, Carbone amorphe hydrogéné