Etude et élaboration de couches minces de carbure de silicium et de membranes
No Thumbnail Available
Date
2013
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Description
160 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Carbures de silicium, Pulvérisation cathodique, Couche minces, Capteurs (technologie)