Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron
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Date
2006
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Description
127 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)
Keywords
Nitrure de silicium, Matériaux amorphes hydrogénés, Pulvérisation