Etude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetron

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dc.contributor.authorSayhi, Mostepha
dc.date.accessioned2015-11-10T08:37:22Z
dc.date.available2015-11-10T08:37:22Z
dc.date.issued2006
dc.description127 p. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)fr_FR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/3924
dc.language.isofrfr_FR
dc.subjectNitrure de siliciumfr_FR
dc.subjectMatériaux amorphes hydrogénésfr_FR
dc.subjectPulvérisationfr_FR
dc.titleEtude des propriétés physico chimiques et électriques du nitrure de silicium amorphe hydrogène (a-SiN : H) déposé par pulvérisation DC magnetronfr_FR
dc.typeThesisfr_FR

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